2020年全球半導體市場規模達4000多億美元，而應用于半導體市場的光刻膠產業規模僅為19億美元，占比不足1%，是名副其實的“針尖”領域。在整個集成電路產業，這樣的“針尖”還有很多。在昨天舉行的2021中國(上海)集成電路創新峰會之院士圓桌會議上，專家建議，產業創新不妨多一些“針尖突破”，由點及面推動我國集成電路全產業鏈的創新發展。

點上突破不斷，產業細分領域頻現“破冰”

材料和設備是半導體產業的基石，產業規模大、細分領域多、技術門檻高，創新也最為活躍，近年來，不少環節已現“破冰”。

芯片制造過程中的光刻步驟，如同用刀雕刻出精密圖案，光刻膠在這一過程中充當抗腐蝕涂層。根據不同的光波長，光刻膠大致可以分為G線、I線、K線、EUV等幾類，在全球光刻膠市場中，日美廠商占據約87%的份額，國內九成光刻膠需求依賴進口。

去年底，上海彤程電子材料有限公司投資5.7億元，在上海化學工業區建設年產1.1萬噸半導體、平板顯示用光刻膠及2萬噸相關配套試劑項目，目前已完成了K線以下波段的產品研發，有望為中國集成電路廠商提供高性能光刻材料。

制造一片晶圓可能需要幾十次拋光，拋光材料在整個集成電路產業中雖然占比不高，但其質量好壞直接影響著下一道工序的進程。從中科院上海微系統所博士畢業后，張澤芳創立了上海映智研磨材料有限公司，專業從事高精密研磨拋光材料的研發制造。

張澤芳的研究方向是拋光液，2019年，他從深圳大學引進了從事拋光墊研究的饒峰教授團隊，引入了材料學、電子學、凝聚態物理等方面的新技術，解決了企業的關鍵技術難題。今年，上海映智上線了三款無紡布拋光墊，預計銷售額將突破千萬元。

大小聯動，“螞蟻”“大象”串起產業鏈上下游

提到集成電路，人們往往把目光聚焦于大企業，彤程新材料集團股份有限公司董事張寧卻說：“做光刻膠的都是小企業。”為了找到好的光刻膠材料，公司花費兩年時間，幾乎找遍了國內所有高校的新材料團隊，而在產業研發過程中，又需要就每一個參數不斷和上游企業磨合，就在這樣的“上接高校，下接大企業”的聯動創新中，企業鍛煉出了一支高水平的技術隊伍。

小企業在集成電路產業創新中有多重要?新思科技中國董事長兼全球資深副總裁葛群表示，比起資金，集成電路產業更需要人，巨大的人才缺口僅靠幾家大廠是培養不出來的，需要中小企業共同培養。“集成電路產業不僅靠同一批人在做，它需要源源不斷有其他領域的人加入進來，大家一起攻關難題。”他說。

如何促進“螞蟻” “大象”共同成長?上海市集成電路行業協會秘書長郭奕武介紹了一些“他山之石”。比如，成立于上世紀80年代的“美國半導體制造技術科研聯合體”，每年對集成電路投入2億美元的支持，這一舉措使英特爾在8年后坐上了行業領頭羊的位置。與此同時，政府在半導體高速發展時期推出了《小企業投資公司法》 《信貸擔保法案》等十幾部法律，進一步推動了半導體行業的技術創新和產業化。

由點及面，打響“長三角硅谷”品牌

目前，中國已成為全球規模最大、增長最快的集成電路市場，以上海為龍頭的長三角占據國內集成電路產業半壁江山。今年4月，滬、蘇、浙、皖共同成立“長三角集成電路融合創新發展產業聯盟”，四地集成電路產業發展聯系更加緊密。

“應以長三角的名義走出去，一起打響‘長三角硅谷’品牌。”郭奕武認為，長三角的優勢在于產業鏈齊全，要加強企業在集成電路產業的參與度，根據產業發展規律制定“揭榜清單”，明確哪些需要基礎研究突破，哪些需要產業聯合攻關，共同解決卡脖子問題，將“點”上的突破化為“面”上的創新。

中國科學院院士褚君浩則表示，應重視技術工人在集成電路產業中的地位。比如， “能否發起‘集成電路工匠’評選，讓一批有手藝的技術工人脫穎而出，讓更多人參與到該行業中來。”(沈湫莎)