證券時報記者 王一鳴

全球“缺芯”背景下，為晶圓廠提供光刻設備的領先企業阿斯麥（ASML）在第四屆進博會上的亮相頗受關注。

在本屆進博會上，ASML選擇用3D裸眼視頻展示光刻機內部不同模塊之間的基本原理；并帶來了“鐵三角”光刻全方位解決方案，即以先進控制能力的光刻機臺，計算光刻和電子束量測，通過建模、仿真、分析等技術，不斷提高邊緣定位精度，持續賦能每一代芯片的制造，提高芯片生產的良率和產能。

ASML全球副總裁、中國區總裁沈波在接受證券時報·e公司記者專訪時表示，今年是公司第三次參展，希望在進博會的平臺上，讓外界更直觀地了解ASML；開放合作對構建復雜的半導體生態系統至關重要，是行業賴以生存和繁榮的基礎，這與進博會主旨非常契合；作為產業鏈中的一員，ASML亦會繼續秉承開放合作的精神去幫助客戶、推動行業發展、創新。

繼續擴產需解決

供應鏈瓶頸

總部位于荷蘭的ASML，目前每年投入約22億歐元用于技術研發，占年銷售額比例約15%。公司在全球16個國家的60個城市設有辦公室，員工超過29000，包括中國員工1000多名。

從行業情況來看，先進集成電路大規模生產線的投資可達100億美元，75%以上是半導體設備投資，其中最關鍵、最大宗的設備是光刻機、等離子體刻蝕設備、薄膜沉積設備等。受益于全球缺芯背景下的擴產潮，下游晶圓廠對于光刻系統的需求仍在高點。

財報顯示，第三季度ASML共出貨79臺光刻系統，總量比上個季度多出7臺；同期實現凈利潤17億歐元，較上一季度增長67.6%，凈銷售額52.41億歐元，較上一季度增長30.4%，多項業績數據均創下歷史紀錄。同時該公司完成累計出貨1000臺ArF浸潤式光刻系統的里程碑。

面對旺盛的需求，沈波在談及產能情況時介紹：“整個產業鏈正處于非常緊張的狀態，在芯片制造設備供應商中，我們供貨周期較長，這是由于光刻機相對復雜，并且客戶對公司產品的需求相對更多。所以近年來公司擴產幅度在歷史上前所未有，但擴產也面臨了一定局限性。”

由于供應鏈長，ASML的擴產不可避免地面臨供應鏈原材料短缺問題的影響，其中，擴產瓶頸之一是需要高度精密加工的光學鏡片。

該鏡片精度要求有多高？沈波舉例，一款高精密的鏡片大小約1平方米，但在測試時需將該鏡片放大到接近德國國土面積大小，而其表面平整度的起伏不能超過1毫米；另一個相當的比方是，從地球上打一束光到月球，在月球表面的位置誤差不能超過1元硬幣大小。

超高精度要求使得相關零部件制造流程異常復雜，這意味著，ASML的擴產需要供應商的配套跟進，比如供應商擴做鏡片的材料、設備都需要有一定周期。ASML光刻設備的供應鏈是半導體產業的縮影，開放合作是發展的基石，目前公司有著數千家供應商，光刻設備約85%的零部件是與供應鏈共同研發。

中國業務快速增長

正所謂牽一發而動全身。“所以，供應鏈任何一個環節出問題都可能波及這個產業鏈供給的狀態。這其實也是整個芯片產業面臨的挑戰，而不僅僅是ASML單一公司面臨的問題。”沈波認為。

芯片熱還會持續多久？從半導體設備市場來看，國際半導體產業協會（SEMI）預測顯示，2021年半導體設備市場將躍升至900億美元，細分市場均實現20%以上的增長。隨著電子產品需求的飆升，在數字化轉型和其他長期技術趨勢的推動下，2022年前端晶圓廠的全球半導體設備投資預計將達到近1000億美元的新高。

按地區來看，2022年韓國的晶圓廠設備支出將達到300億美元，其次是中國臺灣的260億美元和中國大陸的近170億美元。

談及中國大陸市場情況，沈波向記者介紹，市場增長得非常快，近年來，ASML每年發往中國大陸的光刻機臺數約占總出貨量的30%。

中國業務快速發展的背后離不開本地創新人才的聚集。事實上，ASML和中國的淵源由來已久，最早一臺光刻機于1988年進入中國，2000年，ASML在天津正式成立了分公司。

目前，ASML已在中國設有14個辦公室，11個倉儲物流中心，2處開發中心，1個培訓中心，共擁有1200多名員工，在中國大陸已為客戶累計提供了近1000臺裝機。2021年，ASML開放了一百多個國內軟硬件人才的職位，覆蓋全方位光刻解決方案的各塊業務。

在回應發貨是否存在優先級這一問題時，沈波指出：“行業其實很透明，ASML在所有條件允許情況下，對全球客戶一視同仁。在中國，總部給我們的目標是如何支持好中國的客戶。半導體行業是全球化融合程度非常高的行業，幫助中國的半導體產業即是在幫助全球。另一方面，客戶獲得良好發展與ASML自身發展是相輔相成的。”